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半导体

▶ 半导体、面板生产中的湿电子化学品浓度在线监测

• 在半导体、面板生产及回收系统中对刻蚀液、清洗液和剥离液等混合液的化学浓度进行在线监测与程序控制

• 采用在线近红外光谱技术可实现对各种常见类型的混合液（例如混酸、醇类、酰胺类、烷基醚类、二甲亚砜和双氧水等）浓度的在线测定

• 可采用ProcessEye®-SaaS嵌入式光谱系统，直接集成在生产设备中